台積電董事會決議購買設備 TEL在列 業界曝:這設備難取代
台積電董事會最新決議的設備資本預算中,本次疑似涉入2奈米技術洩密案的東京威力科創(TEL)依然在列。(圖/鏡週刊提供)

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台積電董事會決議購買設備 TEL在列 業界曝:這設備難取代

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2025/08/13 06:45:00

記者:

謝承學

儘管先前爆發2奈米製程技術洩密案,引發外界關注,但台積電在8月12日的最新董事會決議的資本預算中,日本半導體設備大廠東京威力科創(TEL)依然名列採購名單,顯示雙方商業合作關係未受重大影響。
台積電為擴充先進製程及封裝產能,通過先進製程產能機器設備、先進封裝、成熟及/或特殊製程產能機器設備97.53億美元的資本預算,將向國內外多家廠商採購設備。根據公告,洩密案關鍵廠商TEL,不僅在「先進製程產能」的採購名單上,也同時出現在「先進封裝、成熟及/或特殊製程產能」的採購名單中。
先前一名台積電內部員工疑似將2奈米等關鍵技術資料洩漏,且可能流向TEL,引發外界高度關注,台積電先前表示,已對於涉案違規人員進行懲處,並採取相關法律行動TEL也指出,已經對於涉案的台灣子公司員工採取解僱處分。
業內人士透露,TEL供應給台積電的設備相當多,從先進製程到先進封裝都有,以爐管為例,除了TEL外的五大半導體設備供應商還能補上,不過如果是由TEL幾乎獨佔的黃光製程用的track(光阻塗佈與顯影設備),就相對難取代。
由於track和曝光機必須緊密整合,TEL長期與ASML合作,目前全球先進製程的晶圓廠幾乎全面採用TEL的track。
由於目前洩密案進入司法階段,還尚不明確是否與TEL有關,加上TEL在部分設備的獨佔地位,依然有不可取代性。

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