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濾能參展SEMICON Taiwan 2026 過濾設備、再生濾網Q4貢獻營收
濾能參展SEMICON Taiwan 2026。

濾能參展SEMICON Taiwan 2026 過濾設備、再生濾網Q4貢獻營收

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2026/09/02 09:01:00最後更新 2026/09/02 09:01:18

記者:

謝承學

攝影:

董孟航

AMC微污染防治與半導體化學濾網專業廠商濾能(6823)將於2026年9月2日至4日參與SEMICON Taiwan 2026,於南港展覽館二館四樓R7812攤位,展示GFT-SPR(GreenFiltec-Surface Plasma Reaction,預水洗反應單元過濾設備)、高階AMC化學濾網及循環再生技術。公司今年兩項新產品取得關鍵進展,其中GFT-SPR陸續裝機出貨;再生濾網亦已通過主要客戶認證,預計均於第四季貢獻營收。隨著新技術陸續進入實際應用,進一步推動濾能朝更完整的AMC微污染控制方案前進。
濾能表示,先進製程進入EUV世代後,製程對AMC(Airborne Molecular Contamination,空氣中分子污染物)的控制要求持續提高,部分應用已進入sub-ppb等級,化學濾網也從傳統耗材逐漸成為維持製程環境與良率的重要環節。隨晶圓廠持續擴建、潔淨室規模放大,加上化學濾網具有週期性汰換需求,形成長期且結構性的市場需求。另一方面,淨零與ESG趨勢也持續改變半導體耗材的使用模式,品牌客戶與供應鏈陸續提出RE100、碳中和及減廢目標,促使半導體耗材由一次性使用朝減量、重複使用及循環再生方向發展。
濾能深耕AMC防治超過十年,在既有化學濾網與駐廠工程服務基礎上,持續投入設備化與循環再生技術,從一次性耗材供應進一步朝兼顧製程潔淨、使用效率與減碳需求的整合解決方案發展。其中,GFT-SPR為今年技術落地的重要進展,SPR透過反應機制處理特定分子污染物,可與既有AMC濾網搭配,形成前端處理與後端過濾的整合架構,補強傳統吸附式濾網的應用範圍。
此外,SPR核心反應單元具備循環再生特性,可在維持污染控制效能的同時,降低核心耗材的一次性使用。首套設備完成裝機落地後,公司將持續累積實際運轉數據與客戶應用經驗,深化SPR技術,並擴展其他適用領域的應用,以因應不同微汙染控制需求,提升模組化應用彈性。
再生濾網則從另一端實現耗材循環。產品目前已通過主要客戶認證,預計第四季開始出貨並貢獻營收。不同於SPR著重核心反應單元的循環再生,再生濾網是讓濾網本體可再生使用,在符合潔淨度與穩定性要求下延長產品生命週期,減少一次性材料使用與廢棄物。這項技術延續濾能「Reduce、Reuse、Regenerate」的3R理念,也讓客戶在維持AMC控制品質的同時,增加兼顧總持有成本、資源效率及減碳需求的選擇。3R與模組化設計也是濾能長期推動循環經濟的核心方向。
濾能表示,SPR核心單元可循環再生,化學濾網可再生使用,兩項技術共同指向AMC耗材由一次性使用走向循環經濟的發展方向。隨產品陸續完成裝機、認證與商業出貨,濾能的產品組合也從傳統 AMC濾網,進一步延伸至微污染控制設備、循環再生產品與工程服務,逐步建立更完整的AMC解決方案。
未來,濾能將持續投入SPR應用開發,以模組化設計延伸不同製程需求,並拓展至更多使用場域;再生濾網則將由客戶認證走向穩定供應。公司將以實際運轉數據,應用案例及客戶需求為基礎,推進新產品導入,隨著SPR與再生濾網逐步擴大應用,可望提高新產品在整體產品組合中的比重,為下一階段市場拓展與營運貢獻建立基礎。

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