各國政府為吸引半導體龍頭設廠，紛紛祭出高額補助。以台積電為例，其位於美國、德國、日本及中國的子公司皆已取得當地政府補助款，主要用於補貼不動產、廠房及設備的購置與建造。根據財報資料，台積電僅在2025年上半年取得的政府補助款合計就高達約新台幣671億元，相較去年同期的近80億元大幅增長。
台積電指出，上述子公司分別與當地政府簽署補助合約，合約內容包含應遵守之建廠時程及其他條件。另TSMC Arizona 得針對符合資格之投資，申請投資金額之25%作為投資補助。
據了解，在美國，補助主要透過《晶片法案》實施，分為直接現金補助與稅賦優惠。
在稅賦優惠方面，也有先進製造投資抵免（AMIC）提供了關鍵支持，台積電財報即揭露TSMC Arizona可針對符合資格的投資，申請25%的投資補助。環球晶董事長徐秀蘭先前也說明，此優惠明年將提高至35%，且不需要等到美國廠開始賺錢才會減稅，而是當下計算大概是多少錢，會是現金進帳，「今年費用已經送出申請」，對建廠初期的現金流有極大幫助。