晶片良率提升利器!濾能靠「濾網」打入先進製程供應鏈
濾能董事長黃銘文。

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晶片良率提升利器!濾能靠「濾網」打入先進製程供應鏈

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2025/09/12 06:50:00

記者:

謝承學

攝影:

謝承學

隨著半導體製程愈來愈先進,對於污染物的要求愈來愈高,半導體無塵室污染防治廠濾能透過自主研發的濾網產品,打入先進製程供應鏈,隨著新設備出貨、國內外大廠訂單增加,營運有望持續增溫。
「未來先進製程廠房都需要這樣的設備系統。」半導體無塵室污染防治廠濾能董事長黃銘文表示,過去半導體製程線寬較寬,所以微污染分子在這個線寬下所佔比例很小,不過隨著進入先進製程,線寬愈來愈窄是趨勢,只要一點污染物就會破壞原本線路,造成良率下降。
黃銘文解釋,濾能的設備可以處理揮發性有機物(Volatile Organic Compounds, VOCs),這項技術領先於其他競爭者,因為目前台灣其他同業設備只能應對過去主流的兩種污染物。
這款設備可以減少濾網的使用量,且更環保,在未來,這種設備很可能會成為先進製程的標準配備,因為它能提升製程穩定性和良率。
目前濾能在台灣已經取得的訂單 。其中一家客戶已給予採購訂單(PO),且另一家正在評估中,同時由於台灣晶圓代工大廠未來將有3成先進製程產能在美國,濾能正在積極拓展美國市場。
濾能8月合併營收新台幣6,513萬元,較去年同期大幅成長86%。成長動能主要來自於先進製程擴產所帶動的高等級AMC濾網需求,以及公司於南科新廠量產後製造效率與供貨能力全面提升,使濾網出貨量與市場滲透率持續增加。預估隨著國內外半導體大廠訂單持續增加,以及自有專利設計的新濾淨設備導入,下半年營運將可望逐季增溫。
濾能自主研發的AMC濾網產品目前在2至10奈米的先進製程應用相當廣泛,由於半導體先進製程對於AMC濾網的潔淨度與穩定性要求極高,一旦獲得認可,將可望成為長期夥伴;加上濾能是國內少數「AMC濾網+駐廠服務」的整合型供應商,預期逐步恢復的AMC濾網訂單動能,再搭配客戶建廠及先進製程量產的進度如期推展,下半年起月營收表現可望逐步回升至2022年水準。隨著全球半導體製程邁入次世代,製程環境的潔淨度已成為決定晶片良率與效能的關鍵因素。

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